发明名称 |
APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OF VACUUM EVAPORATION FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5443884(A) |
申请公布日期 |
1979.04.06 |
申请号 |
JP19770111348 |
申请日期 |
1977.09.16 |
申请人 |
TOYO SEIKI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
OOTANI KOUSAKU;YUSA KANJI |
分类号 |
C23C14/30;C23C14/54;G01B11/06 |
主分类号 |
C23C14/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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