发明名称 APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OF VACUUM EVAPORATION FILM
摘要
申请公布号 JPS5443884(A) 申请公布日期 1979.04.06
申请号 JP19770111348 申请日期 1977.09.16
申请人 TOYO SEIKI SEISAKUSHO KK 发明人 OOTANI KOUSAKU;YUSA KANJI
分类号 C23C14/30;C23C14/54;G01B11/06 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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