| 发明名称 |
PROCEDE DE REALISATION D'UN COMPOSE SUPERFICIEL ENTRE UN SUBSTRAT ET UNE ESPECE REACTIVE |
| 摘要 |
<P>L'invention a pour objet un procédé de réalisation d'un composé superficiel entre un substrat et une espèce réactive. Une couche mince perméable à l'espèce en question est déposée sur le substrat. Un cas particulièrement intéressant est l'oxydation de substrat en arséniure de gallium, la couche mince étant faite de zircone dopée à la chaux. </P><P>L'invention s'applique à la technique des semiconducteurs.</P>
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| 申请公布号 |
FR2402944(A1) |
申请公布日期 |
1979.04.06 |
| 申请号 |
FR19770027470 |
申请日期 |
1977.09.12 |
| 申请人 |
THOMSON CSF |
发明人 |
MICHEL CROSET ET GONZALO VELASCO;VELASCO GONZALO |
| 分类号 |
C23C8/16;C25D11/32;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C23C8/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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