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发明名称 THERMAL OXIDATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5443679(A) 申请公布日期 1979.04.06
申请号 JP19770109882 申请日期 1977.09.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 AOSHIMA TAKAAKI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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