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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5443469(A) 申请公布日期 1979.04.06
申请号 JP19770108843 申请日期 1977.09.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUBOSAKI KUNIHIRO;NISHI KUNIHIKO;SUZUKI AKIRA
分类号 H01L21/304;H01L21/48;H01L23/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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