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发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT BONDING METHOD AND ITS BONDING UNIT
摘要
申请公布号 JPS5443678(A) 申请公布日期 1979.04.06
申请号 JP19770110743 申请日期 1977.09.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MAKINO YUTAKA;TAKAYANAGI TAKEO;ISOYA HIROSHI;MASAMOTO TAKASHI;FUJITA HIKARI
分类号 H01L21/68;H01L21/60;H01L21/603 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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