发明名称 METHOD OF DIFFUSING IMPURITIES INTO SELECTED AREAS OF A SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 US3681154(A) 申请公布日期 1972.08.01
申请号 USD3681154 申请日期 1970.05.11
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 CLARK L. ASHTON;ROBERT G. HAYS;RONALD C. PENNELL
分类号 H01L21/00;H01L21/22;(IPC1-7):H01L7/36 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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