| 发明名称 |
MASK FOR FINE FIGURE PROJECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5443022(A) |
申请公布日期 |
1979.04.05 |
| 申请号 |
JP19770108809 |
申请日期 |
1977.09.12 |
| 申请人 |
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
ITOU CHIKAICHI |
| 分类号 |
H01L21/027;B41M5/00;B41M5/26;G03C5/08;G03F1/00;G03F1/54;G03F7/004;H01L21/302;H05K3/06 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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