发明名称 INSPECTING APPARATUS OF MOVING OBJECT SURFACE
摘要
申请公布号 JPS5443056(A) 申请公布日期 1979.04.05
申请号 JP19770109615 申请日期 1977.09.12
申请人 FUJI PHOTO OPTICAL CO LTD 发明人 SUZUKI MASANE;YASUDA KENJI
分类号 G03C5/02;G01B11/24;G01D9/42;G01N21/89;G01N21/892;G03C5/04 主分类号 G03C5/02
代理机构 代理人
主权项
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