发明名称 |
INSPECTING APPARATUS OF MOVING OBJECT SURFACE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5443056(A) |
申请公布日期 |
1979.04.05 |
申请号 |
JP19770109615 |
申请日期 |
1977.09.12 |
申请人 |
FUJI PHOTO OPTICAL CO LTD |
发明人 |
SUZUKI MASANE;YASUDA KENJI |
分类号 |
G03C5/02;G01B11/24;G01D9/42;G01N21/89;G01N21/892;G03C5/04 |
主分类号 |
G03C5/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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