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发明名称
VAPOUR DEPOSITION METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号
GB1543442(A)
申请公布日期
1979.04.04
申请号
GB19760004380
申请日期
1976.02.04
申请人
APPLIED MATERIALS INC
发明人
分类号
C23C14/24;C23C14/26;(IPC1-7):C23C13/12
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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