发明名称 MANUFACTURE FOR HIGH FREQUENCY TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS5441681(A) 申请公布日期 1979.04.03
申请号 JP19770108613 申请日期 1977.09.09
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KITA TOSHINOBU;KIKUCHI SADATAKE;OKANO JIYUNICHI
分类号 H01L29/417;H01L21/283;H01L21/331;H01L29/40;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
主权项
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