发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS5441673(A) 申请公布日期 1979.04.03
申请号 JP19770107786 申请日期 1977.09.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 KATOU HIROSHI;ASHIKAWA KAZUTOSHI;MIYAMOTO KEIJI;HINO TETSUROU
分类号 H01L29/41;H01L21/283;H01L21/31 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
地址