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发明名称
摘要
申请公布号	JPS546871(B1)	申请公布日期	1979.04.02
申请号	JP19710008658	申请日期	1971.02.24
申请人		发明人
分类号	H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/28	主分类号	H01L21/283
代理机构		代理人
主权项
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