发明名称 A METHOD OF PRODUCING THICK EPITAXIAL LAYERS
摘要
申请公布号 PL102255(B1) 申请公布日期 1979.03.31
申请号 PL19760191220 申请日期 1976.07.16
申请人 发明人
分类号 B01J;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 B01J
代理机构 代理人
主权项
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