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发明名称 PRODUCTION OF PHOSPHORUS-DOPED MONOCRYSTALLINE SILICON RODS
摘要
申请公布号 GB1542868(A) 申请公布日期 1979.03.28
申请号 GB19760040740 申请日期 1976.10.01
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 C30B13/12;C30B13/06;C30B29/06;H01L21/18;(IPC1-7):B01J17/12;B01J17/10 主分类号 C30B13/12
代理机构 代理人
主权项
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