发明名称 PROCESSO PER L'ATTACCO CONTROLLATO DI SILICIO.
摘要
申请公布号 IT7921367(D0) 申请公布日期 1979.03.28
申请号 IT19790021367 申请日期 1979.03.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人
分类号 C23F1/10;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 C23F1/10
代理机构 代理人
主权项
地址