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发明名称
PLANAR REACTIVE EVAPORATION APPARATUS FOR THE DEPOSITION OF COMPOUND SEMICONDUCTING FILMS
摘要
申请公布号
US4146774(A)
申请公布日期
1979.03.27
申请号
US19770832693
申请日期
1977.09.12
申请人
HUGHES AIRCRAFT COMPANY
发明人
FRAAS, LEWIS M.
分类号
C30B25/06;H01L21/205;H01L21/365;(IPC1-7):F22B1/28
主分类号
C30B25/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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