发明名称 METHOD OF PRODUCING COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5439571(A) 申请公布日期 1979.03.27
申请号 JP19770105604 申请日期 1977.09.02
申请人 MITSUBISHI MONSANTO CHEM 发明人 HASEGAWA SHINICHI;FUJITA HISANORI
分类号 C30B25/12;C30B29/40;H01L21/205;H01L33/16;H01L33/30 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
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