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发明名称 ELECTRON RAY UNIT
摘要
申请公布号 JPS5439575(A) 申请公布日期 1979.03.27
申请号 JP19770106409 申请日期 1977.09.05
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 HARADA YOSHIYASU;HIRATA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/027;H01L21/26 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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