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发明名称
摘要
申请公布号
JPS545957(B2)
申请公布日期
1979.03.23
申请号
JP19730056487
申请日期
1973.05.21
申请人
发明人
分类号
H01L29/73;H01L21/22;H01L21/306;H01L21/331
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
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