发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABTRAGENDEN BEARBEITEN VON WERKSTUECKEN
摘要
申请公布号 DE2739257(A1) 申请公布日期 1979.03.22
申请号 DE19772739257 申请日期 1977.08.31
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 BERGER,WALTER;FREUDLSPERGER,AUGUST;MORITZ,ALFRED;OFENMACHER,VOLKER;REGLER,DIETER,DIPL.-CHEM.DR.;SEIFERT,DIETER,DIPL.-ING.DR.
分类号 B24B27/06;B24B1/04;B28D5/04;H01L21/304;(IPC1-7):B28D1/06;B23D57/00 主分类号 B24B27/06
代理机构 代理人
主权项
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