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发明名称
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABTRAGENDEN BEARBEITEN VON WERKSTUECKEN
摘要
申请公布号
DE2739257(A1)
申请公布日期
1979.03.22
申请号
DE19772739257
申请日期
1977.08.31
申请人
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH
发明人
BERGER,WALTER;FREUDLSPERGER,AUGUST;MORITZ,ALFRED;OFENMACHER,VOLKER;REGLER,DIETER,DIPL.-CHEM.DR.;SEIFERT,DIETER,DIPL.-ING.DR.
分类号
B24B27/06;B24B1/04;B28D5/04;H01L21/304;(IPC1-7):B28D1/06;B23D57/00
主分类号
B24B27/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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