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发明名称 UNIT FOR OXIDATION
摘要
申请公布号 JPS5437683(A) 申请公布日期 1979.03.20
申请号 JP19770103568 申请日期 1977.08.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WADA KUNIHIKO;NAKANO MOTOO
分类号 H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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