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发明名称
摘要
申请公布号	JPS544916(B2)	申请公布日期	1979.03.12
申请号	JP19760152908	申请日期	1976.12.21
申请人		发明人
分类号	C30B25/14;C30B29/40;C30B29/42;H01L21/205	主分类号	C30B25/14
代理机构		代理人
主权项
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