| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING MASK FOR PHOTOFABRICATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5433671(A) |
申请公布日期 |
1979.03.12 |
| 申请号 |
JP19770099490 |
申请日期 |
1977.08.22 |
| 申请人 |
NIPPON SEIKO KK |
发明人 |
NAKASHIMA SHIGERU;OOYAMA YASUSHI;KAWAKAMI KOUICHI;TANAKA MAMORU |
| 分类号 |
G03F1/00;G03F1/68;H01L21/027;H01L21/302 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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