发明名称 CONVERSION OF SILICON TETRAHALIDE INTO TRIHOLOSILANE
摘要
申请公布号 JPS5433896(A) 申请公布日期 1979.03.12
申请号 JP19780070688 申请日期 1978.06.12
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC 发明人 JIYON EMU BUROTSUKAA JIYUNIA;MERUBIN EFU BURAUNINGU
分类号 C01B33/02;C01B33/107 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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