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发明名称 OBSERVING METHOD FOR DEFECT DISTRIBUTION OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPS5432979(A) 申请公布日期 1979.03.10
申请号 JP19770099371 申请日期 1977.08.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NISHIOKA SUNAO
分类号 H01L21/66;G02B27/00;G02F1/13 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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