| 摘要 |
<P>Système à faisceau d'électrons pouvant projeter des caractères. Le système comprend des moyens de mise en forme du faisceau constitués par l'ouverture carrée 14. Le condensateur 15 focalise l'image de l'ouverture 14 dans le plan 16 d'un élément à caractères 17 comportant un certain nombre d'ouverture de dessins de caractères. Le moyen de déflexion 19 comprenant des plaques 20, 20', 21 et 21' permet de diriger le faisceau d'électrons sur le caractère 16 à projeter de l'élement 17. Ainsi un caractère choisi peut être projeté pour impressionner une couche photorésistante. </P><P>Peut être utilisé pour la fabrication des circuits intégrés, de nature répétitive.</P>
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