发明名称 PINHOLE DETECTING METHOD FOR INSULATOR FILM
摘要
申请公布号 JPS5431283(A) 申请公布日期 1979.03.08
申请号 JP19770097597 申请日期 1977.08.15
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TERAJIMA KAZUTAKA;YOKOGAWA SHIYUNJI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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