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经营范围
发明名称
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号
US4143178(A)
申请公布日期
1979.03.06
申请号
US19770813464
申请日期
1977.07.07
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO., LTD.
发明人
HARADA, NOZOMU;KUBOTA, NOBUHISA
分类号
H01L27/088;H01L21/28;H01L21/3215;H01L21/339;H01L21/768;H01L21/8234;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/417;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/22;B05D5/12
主分类号
H01L27/088
代理机构
代理人
主权项
地址
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