| 发明名称 |
FORMING METHOD OF SELECTIVE VAPORRDEPOSITION FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5429987(A) |
申请公布日期 |
1979.03.06 |
| 申请号 |
JP19770095084 |
申请日期 |
1977.08.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MATSUZAWA MANABU;URIYUU TAKESHI;NONAKA YOSHIO;YAMADA KOUHEI;YAMADA KOUICHIROU |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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