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发明名称 MANUFACTURE FOR MOS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5429569(A) 申请公布日期 1979.03.05
申请号 JP19770094628 申请日期 1977.08.09
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MORI TADASHI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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