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发明名称 METHOD OF DESTATICIZING PARTICLES FOR REMOVING FLASH
摘要
申请公布号 JPS5429364(A) 申请公布日期 1979.03.05
申请号 JP19770094209 申请日期 1977.08.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUKAI YASUJI
分类号 H01L21/56;B29C37/00;B29C37/02;B29C45/00 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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