发明名称 PLASMA UNIT
摘要
申请公布号 JPS5429572(A) 申请公布日期 1979.03.05
申请号 JP19770094686 申请日期 1977.08.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KUDOU DAIJIROU;ABIRU AKIRA
分类号 H01L21/205;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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