发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5428571(A) 申请公布日期 1979.03.03
申请号 JP19770094179 申请日期 1977.08.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 MURAKAMI SUSUMU;HOSOKAWA YOSHIKAZU;KAMEI TATSUYA;OGAWA TAKUZOU
分类号 H01L21/283;H01L21/314;H01L21/318 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
地址