| 发明名称 |
MANUFACTURE OF EMULSION PHOTO MASK |
| 摘要 |
PURPOSE:To increase the coating intensity as well as the adhesive intensity on the glass substrate, by baking the emulsion photo mask. |
| 申请公布号 |
JPS5427373(A) |
申请公布日期 |
1979.03.01 |
| 申请号 |
JP19770092816 |
申请日期 |
1977.08.02 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MORISHIGE AKIRA |
| 分类号 |
G03C5/40;G03F1/00;G03F1/68;G03F1/80;H01L21/027;H01L21/302 |
主分类号 |
G03C5/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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