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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5429086(U)	申请公布日期	1979.02.26
申请号	JP19770102890U	申请日期	1977.07.29
申请人		发明人
分类号	G01N23/223;C23C2/00;G01N33/20;(IPC1-7):G01N23/223;C23C1/14	主分类号	G01N23/223
代理机构		代理人
主权项
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