发明名称 VACUUM EVAPORATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5425283(A) 申请公布日期 1979.02.26
申请号 JP19770089839 申请日期 1977.07.28
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 GOTOU HIROSHI
分类号 C23C14/50;C23C14/24 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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