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发明名称 GAS ETCHING METHOD FOR IIIIV GROUP CHEMICAL COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5425670(A) 申请公布日期 1979.02.26
申请号 JP19770091263 申请日期 1977.07.28
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YOSHIDA MASAJI
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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