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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5425160(A) 申请公布日期 1979.02.24
申请号 JP19770090998 申请日期 1977.07.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OOTAKI KANAME
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/302;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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