发明名称 ELECTRON BEAM PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5662683(A) 申请公布日期 1981.05.28
申请号 JP19790140063 申请日期 1979.10.29
申请人 OSAKA TRANSFORMER CO LTD 发明人 TAKEMOTO ASAKI
分类号 H01J37/30;B23K15/00 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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