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<P>L'invention concerne une pellicule cristalline piézo-électrique d'oxyde de zinc. </P><P>Cette pellicule cristalline piézo-électrique d'oxyde de zinc contient des éléments additifs qui sont le vanadium, le manganèse et au moins un élément choisi dans le groupe formé du chrome, du fer, du cobalt et du nickel. Cette pellicule peut être formée dans un réacteur de pulvérisation de radiofréquence classique 1, dans lequel 2 et 3 désignent des électrodes, 4 désigne une céramique servant de source pour le matériau pelliculaire, 6 le substrat, 7 un orifice d'évacuation, 8 une entrée de gaz et 9 un générateur de radiofréquences. Les pellicules cristallines piézo-électriques sont homogènes, ont une résistivité élevée et une surface lisse, de sorte qu'elles peuvent être utilisées pour former un transducteur possédant un bon rendement de conversion dans une large gamme allant des barres aux hautes fréquences.</P>
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