| 发明名称 |
PROCEDE DE PROJECTION D'UNE MATIERE FERROMAGNETIQUE |
| 摘要 |
<P>a. Procédé de réalisation d'un film projeté par magnétron ayant des caractéristiques des matières ferromagnétiques. b. Procédé caractérisé en ce qu'on utilise une cathode cible en un matériau ferromagnétique allié à un matériau non ferromagnétique pour abaisser la température de Curie de l'alliage à une valeur inférieure à la température d'utilisation de la cathode cible pendant le procédé.</P>
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| 申请公布号 |
FR2398810(A1) |
申请公布日期 |
1979.02.23 |
| 申请号 |
FR19780021866 |
申请日期 |
1978.07.24 |
| 申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/36;H01F41/18;H01J37/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C15/00;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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