| 发明名称 |
EINRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG VON ZEICHENMUSTERN AUF EINER OBJEKTFLAECHE MITTELS ELEKTRONENSTRAHLEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2834391(A1) |
申请公布日期 |
1979.02.22 |
| 申请号 |
DE19782834391 |
申请日期 |
1978.08.05 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
CHRISTIAN PFEIFFER,HANS |
| 分类号 |
H01L21/027;H01J37/147;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30;H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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