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发明名称
MASK ALIGNMENT UNIT
摘要
PURPOSE:To make efficient the mask alignment work, by suitably making vacuum or pressurized the space among the unit itself, substrate chuck and the mask clamp.
申请公布号
JPS5423475(A)
申请公布日期
1979.02.22
申请号
JP19770088381
申请日期
1977.07.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
TANAKA YOSHIMITSU
分类号
H01L21/027;H01L21/68
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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