发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5422765(A) 申请公布日期 1979.02.20
申请号 JP19770088187 申请日期 1977.07.21
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA YOSHIAKI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址