| 发明名称 |
APPARATUS FOR MAKING PIEZOELECTRIC THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5422599(A) |
申请公布日期 |
1979.02.20 |
| 申请号 |
JP19770086948 |
申请日期 |
1977.07.20 |
| 申请人 |
TOKO INC |
发明人 |
TAKAGI TOSHINORI;MIYAJIMA HAJIME;MIZOGUCHI TOSHIKI |
| 分类号 |
C23C14/32;H01L41/18;H03H3/00;H03H3/08 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
