| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5421182(A) |
申请公布日期 |
1979.02.17 |
| 申请号 |
JP19770125155 |
申请日期 |
1977.10.20 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
TANGO HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/76;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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