| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5421290(A) |
申请公布日期 |
1979.02.17 |
| 申请号 |
JP19770086823 |
申请日期 |
1977.07.19 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
UEHARA MAKOTO;MINAZU KATSUMI;TOBINAGA MINETO;KATOU TAKAAKI |
| 分类号 |
H01L23/522;H01L21/31;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L23/522 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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