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发明名称 EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS5419359(A) 申请公布日期 1979.02.14
申请号 JP19770084855 申请日期 1977.07.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIBINO MITSUTOSHI
分类号 C30B25/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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