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发明名称 PRODUCTION OF TRANSISTOR CIRCUITS
摘要
申请公布号 JPS5419682(A) 申请公布日期 1979.02.14
申请号 JP19770084216 申请日期 1977.07.15
申请人 HITACHI ELECTRONICS 发明人 MISAWA HIROSHI
分类号 H01L21/8222;H01L21/331;H01L27/082;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
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