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发明名称 METHOD OF PRODUCING IC
摘要
申请公布号 JPS5419668(A) 申请公布日期 1979.02.14
申请号 JP19780076619 申请日期 1978.06.26
申请人 IBM 发明人 AUGUSTINEWEI-CHUN CHANG;ARUN KUMAR GAIND
分类号 H01L21/76;H01L21/306;H01L21/331;H01L21/8238 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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